D型腔，前开门，三个3寸靶带一个离子源。磁悬浮分子泵，电动插板阀，行星轮基片台。

顶升门梨形腔，油润滑分子泵，电动插板阀，带LOADLOCK接口，可配反溅清洗腔及装卸片室。4个4寸靶，基片台可选配加热或水冷。

前开门+翻盖，梨形腔，油润滑分子泵，4个两寸靶，带基片台加热，电动插板阀。